案件详情
光伏钙钛矿真空镀膜真空条件下，通过电阻加热、电子束轰击等方法使镀料靶材受热蒸发，靶材分子逸出，从镀料迁移到基片表面，沉积形成薄膜
行业面临的挑战泵组配置多，增加能耗
10Pa、10-4Pa两级模式效率低
载具传输平稳
载具传输对伺服同步性要求高
主控成本降本增效
轴数多、系统复杂，设备对稳定性要求高
方案特点优化真空镀工艺
空过渡分为1000Pa、1Pa、10-4Pa三级，最大优化罗茨泵在1000Pa~1Pa的抽气效率，降低设备低真空段的泵组配置，减少设备能耗节约成本。
二合一伺服保证平稳传输
多合一伺服产品帮助客户减少配电柜空间，自带同步功能保证载具平稳传输
整套系统国产替代
PLC+伺服+步进+IO模块整套雷赛解决方案降本增效
实现价值众平电机整套解决方案，提供标准化开发流程。帮助客户缩短开发时间
深入工艺开发，优化运动算法，将膜厚均匀性提升1%
