PVD&RPD光伏上下料机是HJT电池制备TCO导电膜工艺中的上下料设备，PVD制备TCO导电膜为双面镀膜，是HJT的第三道工序，对于精度的要求较高。载板与硅片的间隙理论精度0.1mm，实际在0.2mm以内就能满足要求。上下料机通过皮带传输硅片至夹具取片位，夹具夹持硅片后将硅片放入载板储片槽内，再将装满硅片的载板送入工艺腔内镀膜沉积
案件详情
HJT自动化上下料
PVD&RPD光伏上下料机是HJT电池制备TCO导电膜工艺中的上下料设备，PVD制备TCO导电膜为双面镀膜，是HJT的第三道工序，对于精度的要求较高。载板与硅片的间隙理论精度0.1mm，实际在0.2mm以内就能满足要求。上下料机通过皮带传输硅片至夹具取片位，夹具夹持硅片后将硅片放入载板储片槽内，再将装满硅片的载板送入工艺腔内镀膜沉积
行业面临的挑战
纠偏CT难以提升，调试周期长
目前国内设备节拍基本处于1.8秒以上，客户期望突破0.7秒，且载板与硅片精度＜±0.15mm，增加业内竞争力。
空间紧凑接线繁琐，焊线及排查故障难
驱动器和网线数量多，绝对值电池盒较大且焊线难度高，占电柜空间且人工+线材成本高；客户希望省空间省时省力。
整套成本高，调试效率低
整机纠偏轴数多，控制成本高，同时调试效率低，排查问题难。
方案特点
一次对位纠偏技术
通过一次对位纠偏技术，将原先的2次拍照，2次纠偏，优化为1次拍照，1次纠偏，减少对位平台XYθ动作次数，大大提升设备节拍。
多合一定制化产品
解决电控柜空间空间紧凑；接线繁琐及问题排查难得问题
实现价值
4个驱动器仅安装一个电池盒，驱动器+电池盒+电源线+通讯线节省75% 人工+材料成本
纠偏一拖四驱动40mm宽度，（体积仅为一台单轴驱动器）空间节省50%以上
配置步进电机+伺服方案，整套成本节省30%，同时安装空间节省50%以上
主控带轴能力更强达到128轴
XYZR采用一颗MCU，系统响应更快，提升30%
