案件详情
探针台通过探针或探针卡将测试信号从测定器或测试仪发送到晶圆上的各个器件，并获取各器件的信号反馈。通过收集这些信号，可以测试芯片的各种电气特性，如电压、电流、时序等
行业面临的挑战
UPH效率不满足
产能要求不断提升，效率需持续优化
针损较大
Z轴频繁升降，磨损探针
信号干扰大
电器柜紧凑，干扰严重
方案特点通讯耗时短
提供门型运动指令，缩短非必要轨迹耗时。3合1指令，减少软件和卡交互的时间
动作柔和
us级脉冲周期，使脉冲频率变化更平滑。同时驱动端抑制静态下的电机抖动现象，减少探针磨损
干扰小
驱动内置磁环+抗干扰IPM模块，从源头上降低干扰的影响
功能定制
针对寻边及探针，定制多种工艺，满足客户需求
实现价值指令耗时2us
寻边功能单次耗时3s
针对探针定制功能：多组IO触发急停
